တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း (FAB) သန့်စင်ခန်းရှိ နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ၏ ပစ်မှတ်တန်ဖိုးသည် ခန့်မှန်းခြေအားဖြင့် 30 မှ 50% သည် ခန့်မှန်းခြေအားဖြင့် ±1% ဖြစ်သည့် lithography ဇုန်တွင် အမှားအယွင်းရှိနိုင်သည် - သို့မဟုတ် အလှမ်းဝေးသော ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည်လုပ်ဆောင်မှု (DUV) တွင်ပင် နည်းပါးပါသည်။ ဇုန်- အခြားနေရာများတွင် ±5% အထိ ဖြေလျှော့နိုင်သည်။
နှိုင်းရစိုထိုင်းဆတွင် သန့်ရှင်းသောအခန်းများ၏ အလုံးစုံစွမ်းဆောင်ရည်ကို လျှော့ချနိုင်သည့် အကြောင်းရင်းများစွာရှိသောကြောင့်၊ အပါအဝင်၊
1. ဘက်တီးရီးယားကြီးထွားမှု;
2. ဝန်ထမ်းများအတွက် အခန်းအပူချိန် သက်တောင့်သက်သာရှိမှု၊
3. Electrostatic charge ပေါ်လာသည်၊
4. သတ္တုချေး;
5. ရေငွေ့ငွေ့ရည်ဖွဲ့;
6. lithography ၏ပျက်စီးခြင်း;
7. ရေစုပ်ယူမှု။
ဘက်တီးရီးယားနှင့် အခြားဇီဝညစ်ညမ်းပစ္စည်းများ (မှိုများ၊ ဗိုင်းရပ်စ်များ၊ မှိုများ၊ ပိုးများ) သည် နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ 60% ထက်ပိုသော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ရှင်သန်နိုင်သည်။အချို့သော ဘက်တီးရီးယားအသိုင်းအဝိုင်းများသည် နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ 30% ထက်ပို၍ကြီးထွားနိုင်သည်။ဘက်တီးရီးယားနှင့် အသက်ရှုလမ်းကြောင်းဆိုင်ရာ ကူးစက်ရောဂါများကို နည်းပါးစေမည့် စိုထိုင်းဆကို 40% မှ 60% အတွင်း ထိန်းချုပ်သင့်သည်ဟု ကုမ္ပဏီက ယုံကြည်သည်။
40% မှ 60% အတွင်းရှိ နှိုင်းရစိုထိုင်းဆသည် လူသားတို့ သက်တောင့်သက်သာရှိစေမည့် အလယ်အလတ်အကွာအဝေးတစ်ခုလည်းဖြစ်သည်။စိုထိုင်းဆများလွန်းခြင်းသည် လူကို ဝမ်းချုပ်စေတတ်သော်လည်း 30% အောက် စိုထိုင်းဆသည် လူများကို ခြောက်သွေ့ခြင်း၊ အရေပြားကွဲခြင်း၊ အသက်ရှူလမ်းကြောင်း မအီမသာဖြစ်ခြင်းနှင့် စိတ်ပိုင်းဆိုင်ရာ မပျော်မရွှင်ဖြစ်ခြင်းကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။
မြင့်မားသောစိုထိုင်းဆသည် သန့်စင်ခန်းမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ electrostatic charges စုဆောင်းမှုကို အမှန်တကယ် လျှော့ချပေးသည် - လိုချင်သောရလဒ်ဖြစ်သည်။စိုထိုင်းဆနည်းခြင်းသည် အားသွင်းစုဆောင်းမှုနှင့် electrostatic discharge ၏ ထိခိုက်စေနိုင်သည့် အရင်းအမြစ်တစ်ခုအတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်သည်။နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ 50% ကျော်လွန်သောအခါ electrostatic charges များ လျင်မြန်စွာ ပျောက်ကွယ်သွားသော်လည်း နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ 30% ထက်နည်းသောအခါ ၎င်းတို့သည် insulator သို့မဟုတ် ungrounded မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် အချိန်ကြာမြင့်စွာ ဆက်လက်တည်ရှိနေနိုင်သည်။
နှိုင်းရစိုထိုင်းဆကို 35% နှင့် 40% ကြား ကျေနပ်လောက်သော အပေးအယူတစ်ခုအဖြစ် အသုံးပြုနိုင်ပြီး၊ semiconductor သန့်စင်ခန်းများသည် ယေဘုယျအားဖြင့် electrostatic charges စုဆောင်းမှုကို ကန့်သတ်ရန် အပိုထိန်းချုပ်မှုများကို အသုံးပြုသည်။
သံချေးတက်ခြင်းဖြစ်စဉ်များအပါအဝင် ဓာတုတုံ့ပြန်မှုများစွာ၏ အရှိန်သည် နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ တိုးလာသည်နှင့်အမျှ တိုးလာမည်ဖြစ်သည်။သန့်ရှင်းသောအခန်းတစ်ဝိုက်ရှိ လေနှင့်ထိတွေ့သောမျက်နှာပြင်များအားလုံးသည် မြန်ဆန်သည်။
စာတိုက်အချိန်- မတ်လ-၁၅-၂၀၂၄
အိမ်
ထုတ်ကုန်များ
ကြှနျုပျတို့ကိုဆကျသှယျရနျ
သတင်း